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超纯水制造系统及超纯水制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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超纯水制造系统及超纯水制造方法.pdf

    本发明进一步减少供给到使用点的超纯水所含的微粒子。超纯水制造系统(1)具有：超纯水供给管线(L1)，与使用点(UP1～UP3)连接，且供超纯水流通；以及第一离子交换装置(6)、膜过滤装置(8)和第二离子交换装置(9)，在超纯水供给管线(L1)上串联配置。由膜过滤装置(8)过滤后的超纯水的至少一部分在被供给到使用点(UP1～UP3)之前由第二离子交换装置(9)进行处理。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874328 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080037668.7 (74)专利代理机构 北京汇思诚业知识产权代理

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