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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明公开了一种高频高性能SAW器件用碳化硅基AlScN模板，该碳化硅基AlScN模板为多层结构，以单晶碳化硅为衬底，在碳化硅的抛光面上依次生长SiO2层、金属钝化层、AlN种子层、低浓度Sc掺杂的AlScN层以及高浓度Sc掺杂的AlScN层。采用本发明的制备方法，可以制备高结晶质量、高相速度、低表面粗糙度、高温度稳定性、高Sc浓度的AlScN薄膜。碳化硅衬底提供较高的相速度；SiO2层弥补高Sc浓度AlScN薄膜温度稳定差的弊端；AlN种子层，与AlScN晶格失配小提高结晶质量；低Sc浓度Al
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871289 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110971256.7
(22)申请日 2021.08.24
(71)申请人 奥趋光电技术（杭州）有限公司
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