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测定装置以及测定方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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测定装置以及测定方法.pdf

    测定装置包括:触头(140)，其用于与测定对象接触；传感器(150)，其设置于上述触头(140)，用于对上述测定对象的至少表面状态进行测定；驱动部(170)，其用于使上述触头(140)和上述传感器(150)相对于上述测定对象位移；以及振动隔离部件，其设于上述驱动部(170)与上述触头(140)和上述传感器(150)之间，用于隔离自上述驱动部(170)向上述触头(140)和上述传感器(150)的振动，该测定装置基于上述传感器(150)的测定值对表面状态进行测定。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113873934 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080036951.8 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限

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