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带支撑片的膜状烧成材料、辊体、层叠体及装置的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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带支撑片的膜状烧成材料、辊体、层叠体及装置的制造方法.pdf

    本发明提供一种带支撑片的膜状烧成材料100，其具备在基材膜3上具有粘着剂层4的支撑片2与设置在粘着剂层4上的膜状烧成材料1，所述带支撑片的膜状烧成材料100用于将所述膜状烧成材料贴附于在外周部具有环状凸部的晶圆的具有所述环状凸部的一面侧的内周部，膜状烧成材料1的直径为所述晶圆的内周部的直径以下。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874984 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080037701.6 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限

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