原创力文档- 7
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- 2023-07-07 发布于四川
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本发明属于材料表面包覆技术领域，尤其涉及一种原子层沉积前驱体用量的监测系统及其方法与应用，包括：椭偏仪或X射线反射仪，用于质控体和基体以监控包覆层厚度；气体流量计，用于实时控制气体流量；微分电化学质谱，用于监控尾气成分；所述椭偏仪与原子层沉积反应腔相邻设置；所述质控体与所述基体设于所述原子层沉积反应腔内，进行包覆处理；所述气体流量计设于所述原子层沉积反应腔内壁，所述微分电化学质谱与所述原子层沉积反应腔的尾气系统相连。对反应程度进行实时检测和反应结束状态进行预判，保证了基体和前驱体充分接触反应，实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113862641 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110941492.4
(22)申请日 2021.08.16
(71)申请人 江汉大学
地址 43
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