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一种基于平整二维结构衬底的石墨烯超材料CVD制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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一种基于平整二维结构衬底的石墨烯超材料CVD制备方法.pdf

    本发明公开了一种基于平整二维结构衬底的石墨烯超材料CVD制备方法：首先，根据需求设计石墨烯超材料二维结构图案，并生成工程文档；接着，根据所设计图案对所选金属衬底进行刻蚀，注入填充剂填充刻蚀部分，防止石墨烯生长至衬底侧面；然后，对金属衬底进行打磨，磨掉多余填充剂露出金属衬底材料，并使表面平整；最后，运用CVD法生成具备二维微纳机构的石墨烯超材料。本发明具有较低的成本，且不易对石墨烯材料本身造成破坏，确保石墨烯材料完整性，同时，创造了平整的衬底表面，更有利于石墨烯结构沉积。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113862636 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110922973.0 (22)申请日 2021.08.12 (71)申请人 北京交通大学 地址

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