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挡板和喷头组件及相应的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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挡板和喷头组件及相应的制造方法.pdf

    本发明涉及挡板和喷头组件及相应的制造方法。挡板组件包括挡板、环和支撑构件。挡板具有外径并且配置成将气体分配通过衬底处理系统的喷头组件的喷头。气体从喷头组件的杆接收。该环具有内径并且被配置为设置在喷头组件的环形通道中。所述内径大于挡板的外径。支撑构件从挡板延伸到环。环和支撑构件将挡板保持在喷头的顶板和底板之间的位置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113862642 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110947160.7 C23C 14/48 (2006.01)

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