光学系统及其检测方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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本发明提供一种光学成像系统,其具有将光均匀且有效地投射到样品上的光学模块。此外,本发明还提供一种方法,以消除图像伪影和改善本发明公开的光学成像系统的图像质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113873933 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080034370.0 (74)专利代理机构 北京安信方达知识产权代理

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