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- 2023-07-07 发布于四川
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一种能够在不增加功率的情况下提高蚀刻选择性的衬底处理方法，包括：在结构上形成第一薄膜；在第一薄膜上形成抗湿蚀刻性大于第一薄膜的抗湿蚀刻性的材料层；使用湿法蚀刻去除材料层的一部分以暴露第一薄膜的一部分；以及去除第一薄膜的暴露部分。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113871296 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202110709381.0
(22)申请日 2021.06.25
(30)优先权数据
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