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载置台装置、曝光装置以及物品的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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载置台装置、曝光装置以及物品的制造方法.pdf

    本发明提供载置台装置，用于在扫描方向上相对地扫描原版和基板的同时对基板进行曝光的扫描型的曝光装置，在扫描方向上扫描基板，其特征在于，具有：载置台，保持并移动基板；第一单元，包括第一电磁铁，且将由第一电磁铁产生的力作为使载置台在扫描方向上加速的力而施加于载置台；第二单元，包括第二电磁铁，且将由第二电磁铁产生的力作为使载置台在与扫描方向交叉的方向上加速的力而施加于载置台；以及移动部，使设置有第一单元以及第二单元的构造体移动，将第二电磁铁的铁芯投影到以与扫描方向交叉的方向为法线的平面上而得到的投影面积

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113867102 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110716757.0 (22)申请日 2021.06.28 (30)优先权数据 2020-1131

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