修复装置.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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根据示范性实施例,一种修复装置包含:工作台,待处理的物体安放在工作台上;喷嘴单元,倾斜地安置在工作台上方以将修复材料排出到待处理的物体的修复区域;拍摄单元,安置在喷嘴单元上方以检查修复区域;物镜单元,安置在拍摄单元与喷嘴单元之间;以及光学单元,安置在拍摄单元与物镜单元之间以根据修复区域上的图案的大小来调整拍摄单元的拍摄放大倍率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113856929 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202110739791.X G02B 21/00 (2006.01)

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