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本发明涉及一种空间隔离原子层沉积装置，包括：壳体，壳体的内部中空以形成风道；隔板，隔板位于壳体内，风道中位于隔板的一侧的为主风道，风道中位于隔板的另一侧的为静压室，隔板处形成狭缝，主风道与静压室通过狭缝连通，以气体在主风道的长度方向上流动的方向为第一方向，沿第一方向，狭缝包括多个区间；进气口，进气口设置于壳体上，且进气口与主风道连通；出气口，出气口设置于壳体上，且出气口与静压室连通，出气口沿第一方向延伸；沿第一方向靠近末端的区域内，至少部分区间内狭缝的宽度大于下一区间内狭缝的宽度，以使各个区间内
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113846315 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202111135780.7 审查员 陈文钊
(22)申请日 2021.09.27
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