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长扫掠长度DUV微光刻光束扫描声光偏转器和光学器件设计.pdfVIP

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  • 2023-07-07 发布于四川
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长扫掠长度DUV微光刻光束扫描声光偏转器和光学器件设计.pdf

    所公开的技术使用极端的光束塑形来增加通过AOD投射的能量的量。描述了定位在AOD前后的第一和第二扩展器。在一个实施方案中，光路塑形来自源(诸如高斯激光点)的能量，使其偏转，然后将其重塑形为写入点。在另一实施方案中，对于图像捕捉而不是投射系统，所公开的光学器件将来自经成像表面的读取点重塑形为AOD出口处的高长宽比光束，该光束受AOD的偏转。该光学器件重塑形由高长宽比光束通过AOD向检测器中继的辐射。由于光可以在两个方向上通过光学系统，在将写入点投射到辐射敏感表面方面所描述的细节也适用于在经成像表面

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113874790 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202080038519.2 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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