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一种晶体生长炉.pdfVIP

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  • 2023-07-08 发布于四川
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一种晶体生长炉.pdf

    本发明涉及晶体生长领域。本发明公开了一种晶体生长炉，晶体生长炉包括炉体、坩埚和加热装置，炉体围合而成容纳腔，坩埚设于容纳腔中，加热装置设于容纳腔中且环绕坩埚设置。晶体生长炉还包括升降装置，升降装置连接至加热装置，升降装置用于控制加热装置沿上下方向运动。本申请通过实时调节加热装置在坩埚上的位置，使加热装置辐射至坩埚上的热量被有效的利用，提升了晶体生长炉的热利用率，降低了晶体生长炉的能耗。并且上述设置还可以有效的避免加热装置对坩埚的过度加热，降低最终形成的产品内的氧含量，从而提高最终形成的产品的品质

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116397333 A (43)申请公布日 2023.07.07 (21)申请号 202310493179.8 (22)申请日 2023.04.28 (71)申请人 浙江晶盛机电股份有限公司 地址

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