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本发明属于水下传感器技术领域，公开了一种压电微机械超声换能器封装结构及其封装方法，本发明中的压电微机械超声换能器包括带有贯穿空腔的硅衬底层、位于贯穿空腔上方的换能器薄膜结构，本发明将压电微机械超声换能器固定在载板上，将载板固定在第二封装介质上，第二封装介质围封的空间形成第一腔室，利用第一封装介质充满第一腔室并完全包覆压电微机械超声换能器形成第一封装单元，第一封装介质为声阻匹配的液体介质，第二封装介质为透声固态介质。本发明能够提高压电微机械超声换能器在水下的耐压能力。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116393348 A
(43)申请公布日 2023.07.07
(21)申请号 202310335081.X
(22)申请日 2023.03.28
(71)申请人 武汉大学
地址 430072
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