微导纳米-投资价值分析报告：ALD技术平台型企业，半导体CVD强化成长性.pdfVIP

2023 年 7 月 7 日 公司研究 ALD 技术平台型企业 ，半导体 CVD 加持强化成长性 ——微导纳米（688147.SH）投资价值分析报告 要点 增持（首次） 公司是 ALD 薄膜沉积领先设备厂商。依托 ALD 技术核心团队 ，专注先进微纳米 当前价：53.51 元 薄膜沉积设备研发与产业化应用，构建以 ALD 技术为核心，外拓 CVD 等多种镀 膜设备的产品体系，广泛应用于逻辑、存储、高效光伏电池、新型显示等领域， 在半导体逻辑芯片、存储芯片的 HKMG 工艺、光伏正面氧化铝钝化层上具备较 强的领先优势。 国产 Thermal ALD 设备佼佼者，差异化竞争策略减少直接竞争对手。公司是国 内首家成功将量产型 TALD 设备应用于 28nm 逻辑芯片 high-k 栅介质层的设备 厂 ，同时加快其他工艺段 TALD 与 PEALD 设备的研发验证，持续巩固竞争优势。 公司已有多台 ALD 设备在不同工艺段验证，后续批量重复订单可期。CVD 系列 设备以硬掩模工艺为切入点 ，部分产品目前处于客户试样验证阶段。截至 2023 年 4 月 25 日，公司今年新签半导体设备订单 2