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本发明公开了一种基于静电激励压阻检测的硅微谐振压力传感器，传感器采用压力敏感膜和谐振器复合的二次敏感结构，其中谐振器为面内平行反向振动。谐振器与压力敏感膜通过锚点连接，当外界压力作用于压力敏感膜并使其发生变形时，该变形将通过压力敏感膜上的硅岛与锚点传递给谐振器，使谐振器上谐振梁的内应力发生改变，从而改变谐振器的固有谐振频率。在拾振梁上布置有压敏电阻用来完成谐振频率的拾取，而后通过与耦合梁相连接的第一蛇形梁实现压阻信号输出。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113865755 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111040514.6
(22)申请日 2021.09.06
(71)申请人 西安交通大学
地址
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