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一种隔振组件及具有其的分子泵.pdfVIP

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  • 2023-07-08 发布于四川
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一种隔振组件及具有其的分子泵.pdf

    本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种隔振组件及具有其的分子泵。一种隔振组件，包括：减震底座，所述减震底座上设有一组相对设置的减震侧板，所述减震侧板的内壁上分别伸出有一个第一连接端；支撑座，适于与隔振台连接，所述支撑座包括与减震侧板对应设置的支撑侧板，所述支撑侧板上伸出有朝向减震侧板的第二连接端，第二连接端和所述第一连接端沿隔振组件竖直方向交错设置；弹性件，一端与第一连接端连接、另一端与第二连接端连接，以通过弹性件缓冲自支撑座传递给减震底座的振动、或自减震底座传递给支撑座振动。本发明解决工作台受

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116398582 A (43)申请公布日 2023.07.07 (21)申请号 202310505645.X F04D 29/66 (2006.01) (22)申请日 2023.05.

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