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本发明公开了一种晶圆加工制程设备端气体供应用FFKM密封圈，制备的原料包括FFKM原胶、TR131和填充材料，所述填充材料包括炭黑、白炭黑和GO中的一种或多种。本发明采用一定量FFKM原胶、辅料按照比列配合，在开炼机上进行混炼，得到性能优异的新型晶圆加工制程设备端气体供应用密封圈FFKM混炼胶，然后再进行一段、二段硫化成型，成为FFKM密封圈成品。FFKM密封圈的原料选型，配方及加工工艺，解决了材料之间互补性等问题，其FFKM密封圈具物理机械性能好、压变性能优良、耐腐蚀介质及耐强氧化性与强还原性
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113861597 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111242064.9 C08K 3/04 (2006.01)
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