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本申请实施例提供了一种根因分析方法、装置、电子设备和介质，涉及制造业技术领域，用以提高根因分析的效率和准确率。该方法中，首先获取多个产品的缺陷信息；多个产品流经第一工艺中的多个设备；根据缺陷信息，确定多个产品中正样本和负样本的数目；确定流经多个设备中每个设备的产品中正样本和负样本的数目；根据流经多个设备的产品中正样本和负样本的数目，以及流经每个设备的产品中正样本和负样本的数目，得到多个设备的多个分组；其中，每个分组中包括第一小组和第二小组；确定多个分组中每个分组的概率值；将概率值从小到大排序，确
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113870045 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111070227.X
(22)申请日 2021.09.13
(71)申请人 合肥欣奕华智能机器有限公司
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