一种金属掺杂氧化锡薄膜及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-07-08 发布于四川
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一种金属掺杂氧化锡薄膜及其制备方法和应用.pdf

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本发明提供了一种金属掺杂氧化锡薄膜及其制备方法和应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)将金属盐、锡源、碱源、催化剂和溶剂混合，得到化学水浴沉积液；(2)调节所述化学水浴沉积液的pH，将基板的导电面与化学水浴沉积液完全接触，控制温度，在基板导电面沉积氧化锡层；(3)对步骤(2)得到的基板进行退火处理，得到所述金属掺杂氧化锡薄膜，本发明所述方法制得金属掺杂氧化锡薄膜致密性好、可以大幅度提高导电性且可以实现连续性沉积。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116397220 A (43)申请公布日 2023.07.07 (21)申请号 202310374848.X (22)申请日 2023.04.10 (71)申请人极电光能有限公司地址 2141