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正弦条纹光测高原理 Issue Date: 6/8/2012 Prepared by: 管奇 正弦条纹光测高原理 – 点光，线光 （图1） （图2 ） （图3） 正弦条纹光测高原理 -- 条纹光场 当一个条纹光场(pattern)斜向投影到被测物体表面时， 这一光场被物体表面形状所调制。 （图1） （图2 ） 正弦条纹光测高原理 -- 条纹光场 光场的变形度和被测物体面形的高度有关 （图2 ） （图1） 高度低，光场变形小 高度高，光场变形大 正弦条纹光测高原理 --正弦函数 Y = Sin (X) Y = A + Sin (X) Y = A + B * Sin ( X + φ) Y = A + B * Sin (X) 以上Y 为Sin函数值，X为相位， φ相位移 条纹光场的明暗度按照正弦函数分布，称为正弦条纹 （图1） （图3） （图2 ） I 如果将一个符合Y=A+B*Sin(X) 的正弦条 纹光场至于一个坐标系中，那么这个光 场的任意一点光强度的数学表达式为 a) X a) I (x, y) = A (x, y) + B (x,y) Sin [(2π/P)X] I 光强 A 背景光强， B 正弦载波调幅 P 正弦载波条纹间距 2π 周期 2π/P 波频 加入被测物体后，条纹的变形导致该区域内的光强度发生变化，在函数里 体现为相位变化 b) I (x, y) = R (x, y) {A (x, y) + B (x,y) Sin [(2π/P)X + φ(x,y) ] } I a b a) I (x, y) = R (x, y) {A (x, y) + B (x,y) Sin [(2π/P)X]} X R 被测物体表面光学特性参数 φ相位调制函数，包含了物体面形高度H的信息 即 H=f (Φ) 为了求得相位调制函数φ，需要分别对b)引入相移量 0，(π /2), π, ( 3 π/2),可得以下方程组 1） I1 (x,y) = R (x,y) {A (x,y) + B (x,y) Sin[(2π/P)X + Φ (x,y)]} 2 ） I2 (x,y) = R (x,y) {A (x,y) + B (x,y) Sin[(2