CDA系统及制程真空系统简介精讲课件.pptVIP

干燥空气及制程真空系厂四空 ~第一元~干燥空气系 干燥空气系? 系目的?提供低含水量之空气? 需求?离心式空气 (螺旋式空气 )?吸附式干燥机 (冷式干燥机 )?微粒子?量要求 (各厂需求略有不同 )?系末端力高于 7.0kg/cm2?空气露点温度低于 -70℃(水份含量低于 0.12ppm)?微粒数少于 10/ft3 干燥空气系?力 位?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi (lb/in2)、Pa (N/m2)、Bar (105 Pa)、Torr? 大气 力?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=7