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本实用新型公开了一种晶舟盒翻转驱动机构及水平甩干机，该晶舟盒翻转驱动机构包括转盘、翻转式晶舟盒、驱动顶杆和定位机构，转盘通过转轴能转动地装配于甩干筒内，其连接有用于驱动其旋转的旋转驱动装置，翻转式晶舟盒能翻转地装配于固定在转盘端面的框架上，框架上设置有用于驱动其翻转至开口朝上的驱动杆，驱动顶杆的底部连接驱动气缸的驱动端，配合驱动顶杆于甩干筒的筒底和转盘上开设有通孔，驱动气缸带动驱动顶杆穿过筒底和转盘的通孔将驱动杆顶起，定位机构配置为将筒底与转盘上的通孔相对应。上述晶舟盒翻转驱动机构及水平甩干机不
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214152858 U
(45)授权公告日 2021.09.07
(21)申请号 202120355025.9
(22)申请日 2021.02.08
(73)专利权人 泉芯半导体科技（无锡）有限公司
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