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本实用新型公开了一种用于气相沉积机的侦测装置，包含：臭氧发生器，臭氧发生器设置有电流侦测器以侦测臭氧发生器的工作电流；腔室，腔室与臭氧发生器通过管路流体连通；以及控制器，控制器与电流侦测器通信连接并配置为响应于工作电流超出预定范围而提示工作人员，提示包含臭氧的浓度、流量中的至少一项异常。该侦测装置通过检测臭氧发生器的工作电流来建立卡关机制，以更有效地反映常压气相沉积机腔室内臭氧浓度和/或流量的异常。本实用新型同时提供一种包含上述侦测装置的气相沉积机。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214168125 U
(45)授权公告日 2021.09.10
(21)申请号 202022713547.X
(22)申请日 2020.11.20
(73)专利权人 和舰芯片制造（苏州）股份有限公
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