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一种NOR串包括共享位线的多个可个别寻址的薄膜存储晶体管,其中所述可个别寻址的薄膜晶体管进一步被分组为预定数目片段。在每一片段中,该片段的薄膜存储晶体管共享源极线片段,该源极线片段与NOR串内的其他片段中的其他源极线片段电隔离。可以沿着在半导体衬底的表面之上并且平行于半导体衬底的表面提供的半导体层的有源条带,形成NOR串,其中每个有源条带包括第一导电性的第一和第二半导体子层、以及第二导电性的第三半导体子层,其中共享位线和每个源极线片段分别形成在第一和第二半导体子层中。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109103201 A
(43)申请公布日
2018.12.28
(21)申请号 20181
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