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微机电系统MEMS麦克风芯片及MEMS麦克风.pdfVIP

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  • 2023-07-13 发布于四川
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微机电系统MEMS麦克风芯片及MEMS麦克风.pdf

    本申请实施例提供了一种微机电系统MEMS麦克风芯片及MEMS麦克风，涉及MEMS麦克风技术领域。MEMS麦克风芯片包括：基板，基板具有声腔；振动电极板和背极板，设置在基板的同一侧，且振动电极板罩盖声腔；其中，振动电极板具有朝向基板的第一表面及背离基板的第二表面；第二表面包括与声腔相对应的第一区域以及围绕第一区域的第二区域；第一区域设置有背离基板延伸的多个第一凸起部，第二区域设置有贯穿振动电极板的排气孔；第一表面设置有背离基板凹陷的第一凹陷部，第一凹陷部与第一凸起部对应设置。本申请实施例解决了传统

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214177567 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202120343637.6 (22)申请日 2021.02.05 (73)专利权人 北京燕东微电子科技有限公司

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