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- 2023-07-13 发布于四川
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本实用新型公开了一种卡匣基板感应装置,包括:卡匣本体和基板支架;所述卡匣本体内分为多层,且每层均设置有所述基板支架,所述基板支架用于放置基板;所述卡匣本体侧壁上设置有第一负压管路;所述基板支架上设置有第二负压管路、感应吸盘和感应元件,所述第二负压管路一端与所述第一负压管路相导通设置,且所述第二负压管路的另一端连通所述感应吸盘,所述感应元件置于所述基板支架上,且所述感应元件位于所述感应吸盘一侧。通过所述感应吸盘和感应元件的设置,防止出现误感应的状况,增加了基板感应的准确度,同时提高了制程的精度;通
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214173388 U
(45)授权公告日 2021.09.10
(21)申请号 202120096064.1
(22)申请日 2021.01.14
(73)专利权人 福建华佳彩有限公司
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