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光刻设备、测量系统和安装装置.pdfVIP

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  • 2023-07-13 发布于四川
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光刻设备、测量系统和安装装置.pdf

    本实用新型提供了一种光刻设备、测量系统和安装装置，应用于光刻设备技术领域。具体的，本实用新型提供了一种新型的安装装置，其不仅可以实现将平面光栅安装在光刻设备的主基板上，同时还可以对所述安装装置进行实时温度控制，从而避免了由于安装装置局部温升过高，导致平面光栅表面变形，降低测量系统的测量精度的问题。同时，在本实用新型提供的安装装置中，由于安装装置为由多个部件堆叠而成的立体结构，而其每个部件的材料选取范围较广，且多为常规材料，从而缩短了测量系统中安装装置的加工周期、降低了加工成本和对运输条件的要求。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214174826 U (45)授权公告日 2021.09.10 (21)申请号 202120428590.3 (22)申请日 2021.02.26 (73)专利权人 上海微电子装备（集团）股份有限

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