一种磷化铟多晶装料辅助工具.pdfVIP

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  • 2023-07-14 发布于四川
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本实用新型涉及单晶生长技术领域,公开了一种磷化铟多晶装料辅助工具,包括用于隔断石英安瓿瓶中红磷区与膜片区的挡块,挡块包括小径部和大径部,小径部的直径小于膜片区的最小尺寸,大径部的直径大于膜片区的最大尺寸,大径部固定连接有支撑杆,支撑杆的长度大于石英安瓿瓶的长度。本实用新型能够在进行装料过程中,膜片粘上红磷,膜片测压不准确,造成裂管或炸管的问题得到解决。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214193523 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022522440.7 (22)申请日 2020.11.04 (73)专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司

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