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一种单晶生长装置.pdfVIP

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  • 2023-07-14 发布于四川
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一种单晶生长装置.pdf

    本实用新型涉及单晶生长技术领域，公开了一种单晶生长装置，包括工作台、加热器、移动机构和用于放置坩埚的坩埚平台,工作台内部为中空结构，加热器底端固定连接有加热器平台，坩埚平台固定连接于工作台上且在加热器正下方，移动机构包括步进电机、第一减速机、第二减速机、第一外螺纹丝杆、传动杆、第二外螺纹丝杆、第一内螺纹丝杆、第二内螺纹丝杆、第一固定件和第二固定件。本实用新型能够解决现有技术中高于熔点的温度下进行晶体生长的晶体成分偏离原有化学计量比的问题，提供在低温下的结构简单、工作震动小和上升平稳的一种单晶生长

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214193527 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022467407.9 (22)申请日 2020.10.30 (73)专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司

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