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一种圆柱靶磁铁顶出装置.pdfVIP

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  • 2023-07-14 发布于四川
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一种圆柱靶磁铁顶出装置.pdf

    本实用新型涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，公开了一种圆柱靶磁铁顶出装置，包括靶材，所述靶材的内侧设置有极靴，所述极靴的外侧固定连接有若干个伸缩器，所述伸缩器的外侧设置连接有磁铁，所述磁铁的底部固定连接有连接板，所述连接板的底部固定连接有连接柱，所述连接柱的底部设置连接有固定柱，所述连接柱的外侧固定连接有复位弹簧，且连接柱的内侧固定连接有润滑层，所述连接柱的内侧底端固定连接有限位板。本实用新型通过连接柱、复位弹簧、极靴和磁铁，当极靴内腔增大气压，安装在连接柱上的磁铁被压缩，连接柱带动磁铁向外伸出，当

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214193437 U (45)授权公告日 2021.09.14 (21)申请号 202022508273.0 (22)申请日 2020.11.03 (73)专利权人 上海繁枫真空科技有限公司

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