方块电阻模型的建模方法.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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方块电阻模型的建模方法.pdf

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本发明提供一种方块电阻模型的建模方法。所述方块电阻模型的建模方法包括：建立金属线方块电阻的初始模型，该初始模型与金属线的电阻率相关；获取金属线的电阻率随线宽变化的特征关系式；将该特征关系式代入初始模型中，获得金属线的方块电阻模型。如此获得的方块电阻模型能够模拟金属线的散射效应，可以提高金属线方块电阻的模拟精度，尤其是提高小线宽金属线的方块电阻的模拟精度，为各尺寸金属线的电阻目标值制定提供较好的参考。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116432476 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310686065.5 (22)申请日 2023.06.12 (71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司地址