1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种被测体振动的相移数字全息三维测量方法及装置.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.86万字
  • 约 17页
  • 2023-07-15 发布于四川
  • 举报

一种被测体振动的相移数字全息三维测量方法及装置.pdf

    本发明一种基于相移数字全息的精密表面三维形貌测量装置及方法，该装置包括：产生照射到在被测物体表面并返回的物光束及产生参考光的光束分束模块；接收光束分束模块的产生参考光，基于不同的电压力，产生不同增亮增程后物光束的不同参考光束的参考光束调整模块；接收光束分束模块的产生物光束，进行光束放大的透镜成像系统；接收参考光束调整模块的不同参考光束及透镜成像系统放大后的物光束，分别进行光束合并的第二偏振分光棱镜；对合并后的一系列光束分别发生干涉的线偏振片；对一系列干涉图像进行采集的图像采集模块；接收图像采集模

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116429017 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310523010.2 (22)申请日 2023.05.10 (71)申请人 东北大学 地址 110819

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >