二维MEMS扫描微镜及其制备方法.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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二维MEMS扫描微镜及其制备方法.pdf

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本发明提供一种二维MEMS扫描微镜及其制备方法。包括内框架；外框架，位于内框架的外围；可动微光反射镜，位于内框架内；内轴弹性梁、外轴弹性梁；梳齿结构，包括第一上梳齿、第二上梳齿、第一下梳齿和第二下梳齿；第一上梳齿的顶面高于第一下梳齿的顶面，且第一上梳齿和第一下梳齿在水平面上的投影交错排列；第二上梳齿与内框架的外侧相连接，第二上梳齿的顶面高于第二下梳齿的顶面，且第二上梳齿和第二下梳齿在水平面上的投影交错排列；衬底；其中，第二下梳齿的底部与衬底的上表面连接固定，使得本发明可以有效减小梳齿的宽度，进而

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115236849 A (43)申请公布日 2022.10.25 (21)申请号 202110437854.6 (22)申请日 2021.04.22 (71)申请人安徽中科米微电子技术有限公司地址