一种光探针红外热电探测器结构及其制备方法与探测方法.pdfVIP

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2023-07-15 发布于四川
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一种光探针红外热电探测器结构及其制备方法与探测方法.pdf

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本发明公开了一种光探针红外热电探测器结构及其制备方法与探测方法，采用热电半导体材料作为红外传感层，同时它也是可见光的光电传感层；通过分光棱镜使得被探测的红外线和可见光探针从相互垂直的方向照射到传感面，红外辐射热效应使传感面温度上升并导致传感面对可见光探针的吸收系数升高，光电效应使得传感面吸收可见光并产生光生载流子；为了减小暗电流和噪声，在光电传感层后面设置半导体掺杂层，通过pn结抑制噪声电流，使探测器同时获得较高得响应度和比探测度。本发明探测方法同时利用了敏感面的热电效应以及光电效应，所以具有红

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116435399 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310406747.6 (22)申请日 2023.04.17 (71)申请人苏州亿现电子科技有限公司地址