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本申请涉及一种基于异质结的自驱动宽光谱光电探测器及制备方法，衬底上形成有波导；异质结包括碲化锑薄膜和石墨烯薄膜，碲化锑薄膜设于波导上，石墨烯薄膜设于碲化锑薄膜上；电极设于异质结上。本申请集成了波导与碲化锑薄膜Sb2Te3/石墨烯薄膜Graphene异质结，石墨烯的高载流子迁移率保证了载流子的快速抽出，石墨烯的高电导率降低了器件的电阻。光源是沿着波导传播的，整个波导都有光传输，扩大了有源区面积，有源区就能产生更多的光生载流子，光生载流子的收集路径与光沿波导传输的方向相垂直，这就可以通过增加碲化锑薄
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116437671 A
(43)申请公布日 2023.07.14
(21)申请号 202310204844.7
(22)申请日 2023.03.06
(71)申请人 武汉邮电科学研究
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