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本申请实施例提供了一种晶圆清洗花篮，包括花篮主体、压条安装件和压条，其中，花篮主体设置有放置晶圆的容置空间，晶圆依次排列在容置空间中。压条安装件设置在沿晶圆的排列方向延伸的花篮主体的侧部上，压条设置在压条安装件上并且沿晶圆的排布方向延伸，以阻挡位于容置空间中的晶圆上浮。由于压条安装件设置在沿晶圆排列方向延伸的侧部，放置在容置空间中的晶圆的工艺面与该压条安装件的方向垂直，所以工作人员自容置空间中取放晶圆的过程中，晶圆无需经过压条安装件的位置，从而确保压条安装件不会接触晶圆工艺面，避免了压条安装件划
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219350172 U
(45)授权公告日 2023.07.14
(21)申请号 202320298204.2
(22)申请日 2023.02.23
(73)专利权人 济南晶正电子科技有限公司
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