洁净技术基础2003.docVIP

PAGE PAGE 4 洁净技术基础 信息产业电子第十一设计研究院有限公司 二00三年六月 洁净技术基础 编制：王唯国 信息产业电子第十一设计院有限公司 技术质量部 二00三年六月 目 录 空气洁净度等级标准 空气洁净度等级标准 空气洁净度等级的表示方法 室内环境状态 动静比 计算 空气过滤器 空气过滤器标准、分类 空气过滤器防火分级 空气过滤器的性能 空气过滤器组合方式 空气过滤器的安装位置 订货时须明确的事项 计算 气流流型和送风量、回风量 大气含尘浓度 室内发尘 非单向流计算理论 单向流洁净室计算 非单向流洁净室计算 洁净室的送风量、回风量 计算 室压控制 与相关专业的关系 编后语 思考题 参考文献目录 PAGE 30 空气洁净度等级标准 空气洁净度等级标准 现在，在中国洁净技术界采用较多的空气洁净度标准有二个，即美国联邦标准FS209E（表—1）和国际标准TSO/TC209（表—2）。 美国联邦标准FS209E空气洁净度等级 表—1 等级名称 最大浓度限值 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 国际 单位 英制 单位 （m3） （ft3） （m3） （ft3） （m3） （ft3） （m3） （ft3） （m3） （ft3） M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 — — M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.0 35.3 1.00 — — M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 — — M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0 — — M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 — — M3.5 100 — — 26500 750 10600 300 3530 100 — — M4 — — 75700 2140 30900 875 10000 283 — — M4.5 1000 — — — — — — 35300 1000 247 7.00 M5 — — — — — — 100000 2830 618 17.5 M5.5 10000 — — — — — — 353000 10000 2470 70.0 M6 — — — — — — 1000000 28300 6180 175 M6.5 100000 — — — — — — 3530000 100000 24700 700 M7 — — — — — — 283000 61800 1750 中间等级的最大浓度限值可近似地用下式计算。 粒子数/m3=10M（）2.2 （1） 式中： M——空气洁净度等级。0.1为最小允许递增量（保留小数点后一位，其余尾数舍去）。 D——被控粒径（μm） 如采用英制单位时，最大浓度限值可近似地用下式计算。 粒子数/ft3=NC（）2.2 （2） 式中： NC——英制单位的空气洁净度等级。 空气洁净度等级 （Tso/TC209标准）表—2 空气洁净 度等级 （N） 大于或等于表中粒径的最大浓度限值（PC/m3） 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 1 10 2 2 100 24 10 4 3 1000 237 102 35 8 4 10000 2370 1020 352 83 5 100000 23700 10200 3520 832 29 6 1000000 237000 102000 35200 8320 293 7 352000 83200 2930 8 3520000 832000 29300 98320000 293000 Cn=10N×（）2.08 （3） 式中： Cn——大于及等于被控粒径的粒子最大允许浓度（个/m3）。Cn有效位数不超过三位数。 N——空气洁净度等级，0.1为最小允许递增量。 空气洁净度等级的表示方法 空气洁净度等级的表示方法有几种： 第一种： 100级、1000级、10000级、100000级这种表示方法至今仍在某些工程领域（例如医药工业、食品工业、医院等）沿袭使用。但是，对于电子工业采用这种表示方