原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种适用于TDMAT源气相输送的钢瓶结构，旨在解决钢瓶内的TDMAT受热不均的不足。该发明包括：钢瓶本体，用于装载TDMAT源；液位检测器，用于检测钢瓶本体内TDMAT源的液位高度；温度检测器，用于检测钢瓶本体内的温度；加热棒，用于对钢瓶本体内的TDMAT源进行加热，加热棒由下往上间隔设置；控制器，根据接收到的液位检测器和温度检测器检测的液位和温度信号，输出控制信号控制加热棒的工作，使露出液面的加热棒停止加热。本专利申请的适用于TDMAT源气相输送的钢瓶结构能使钢瓶内的TDMAT受热
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116447493 A
(43)申请公布日 2023.07.18
(21)申请号 202310277642.5
(22)申请日 2023.03.20
(71)申请人 浙江陶特半导体材料有限公司
地址
文档评论（0）