等离子体应用及原理.docx

等离子体应用及原理 何为等离子体 等离子体是局部电离的气体，是物质常见的固体、液体、气态以外的第四态。等离子体 由电子、离子、自由基、光子以及其他中性粒子组成。由于等离子体中的电子、离子和自由基等活性粒子的存在，其本身很简洁与固体外表发生反响。 等离子体清洗 等离子体清洗又名干法清洗. 电子工业中的清洗是一个很广的概念，包括任何与去除污染物有关的工艺。通常是指在不破坏材料外表特性及电特性的前提下，有效地去除残留在材料上的微尘、金属离子及有机物杂质。目前已广泛应用的物理化学清洗方法，大致可分为两类：湿法清洗和干法清洗。 湿法清洗在现阶段的微电子清洗工艺中还占据主导地位。但是从对环境的影响、原材料