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本发明提供了一种用于板状物的无损成像检测系统，包括支撑架及其自上而下依次安装的探测器组件、样品台组件和射线源组件，探测器组件包括探测器和探测器运动平台，探测器运动平台能够驱动探测器在沿X轴和Z轴轴向运动且旋转，样品台组件设有载物台，载物台的位置可调；射线源组件包括X射线源和射线源运动平台，射线源运动平台能够驱动X射线源沿X轴和Z轴轴向运动调节穿过样品的射线角度；从而实现DR检测模式、2.5D检测模式和3D检测模式。本发明所述的一种用于板状物的无损成像检测系统，实现了高分辨率的DR、2.5D和3D
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116448790 A
(43)申请公布日 2023.07.18
(21)申请号 202310291963.0
(22)申请日 2023.03.23
(71)申请人 天津三英精密仪器股份有限公司
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