一种坩埚制备方法及坩埚.pdfVIP

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2023-07-19 发布于四川
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一种坩埚制备方法及坩埚.pdf

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本发明提供了一种坩埚的制备方法及坩埚，涉及单晶硅制备技术领域。坩埚的制备方法包括：在模具内铺设至少两层石英砂，得到熔制前体；位于熔制前体最外层的外层砂中：粒度为500um‑2000um的石英砂的质量比例大于或等于90％；对熔制前体熔制；熔制过程中，靠近模具的轴线的石英砂熔化形成坩埚的透明层，部分外层砂以及位于部分外层砂和透明层之间的石英砂，熔化形成坩埚的气泡层；气泡层中熔化后的外层砂的厚度h1小于或等于第一预设厚度，坩埚的外壁为：熔化的外层砂远离透明层的壁体。坩埚外壁具有较大的粗糙度，且外壁较均

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116444134 A (43)申请公布日 2023.07.18 (21)申请号 202210013579.X (22)申请日 2022.01.06 (71)申请人隆基绿能科技股份