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洁净室等级标准第2章 空气洁净度标准与控制对象2、1 洁净度等级标准说明:工程中所依据的各项标准和规范,重要内容应记录在脑子里。空气洁净度:洁净空气中含尘量多少的程度(即含尘浓度)。含尘浓度高则洁净度低,含尘浓度低则洁净度高。1、美国空军技术条令 世界上第一个洁净度标准。1961年3月问世。美国联邦标准的基石。2、美国联邦标准209 1963年12月问世。 0、5μm 5、0μm2、1 洁净度等级标准3、现在标准美国联邦标准FS209E表2-1?美国联邦标准(USA Federal Standard)209E(1992年)洁净度级别Clean class 粒 径 Particles Size (um) 0、1 0、2 0、3 0、5 5、0 1 35、0 7、50 3、00 1、00 NA 10 350 75、0 30、0 10、0 NA 100 NA 750 300 100 NA 1000 NA NA NA 1000 7、0 10000 NA NA NA 10000 70、3 100000 NA NA NA 100000 700 2、1 洁净度等级标准3、现在标准中国国家标准GB50073-2001(等同采纳国际标准ISO14644-1)特点:与旧规范相比,控制粒径2种增加到6种;4个级别增加到9个级别。另,允许采纳整数间的中间级别。表2-2? 洁净室及洁净区空气