原创力文档- 10
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- 2023-07-20 发布于四川
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TMR元件具备：设置于通路配线部的上表面上的基底层、设置于基底层的表面上的磁隧道接合部、以及覆盖通路配线部及基底层的侧面的层间绝缘层，基底层具有应力缓和部，磁隧道接合部具有磁化方向被固定的参照层、磁化自由层、以及设置于参照层与磁化自由层之间的隧道势垒层，层间绝缘层包含绝缘材料。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109937475 A
(43)申请公布日
2019.06.25
(21)申请号 20178
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