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蒸镀装置.pdfVIP

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  • 2023-07-20 发布于四川
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蒸镀装置.pdf

    本发明实施例一方面提供了一种蒸镀装置，用于对待蒸镀基板进行蒸镀，包括蒸镀腔室和位于蒸镀腔室内部的至少一个阻隔结构，所述阻隔结构用于蒸镀时与所述待蒸镀基板相接触，以遮挡部分待蒸镀基板的待蒸镀区域。本发明的蒸镀装置的蒸镀腔室内设置至少一个阻隔结构，该阻隔结构用于蒸镀时与所述待蒸镀基板相接触，以遮挡部分待蒸镀基板的待蒸镀区域，从而使得用于放置功能组件的区域中无蒸镀材料沉积，提高了最终屏体中用于放置功能组件的区域的透过率，更进一步地提升了最终屏体产品的屏占比。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111809145 A (43)申请公布日 2020.10.23 (21)申请号 202010602827.5 H01L 51/56 (2006.01) (22)申请日 2

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