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本实用新型公开了一种制备ZnSe的化学气相沉积炉，包括自下而上依次设置的坩埚、坩埚盖、沉积室、收料盒、导气管、下加热室、上加热室，还包括第一进气管、第二进气管、半球形罩、沉积模具以及回流管。本实用新型第一进气管、第二进气管均通入硒化氢和氩气，即在坩埚内硒化氢与锌蒸汽发生反应，生成的ZnSe以及部分未反应的硒化氢、锌蒸汽进入沉积室，再与第二进气管通入沉积室的硒化氢和氩气接触反应，使得硒化锌的生成率提高；均布有透过孔的半球形罩可使得由坩埚进入沉积室的气体均匀分布，这种出口呈放射状的流动方式可使气流覆
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219363794 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320625756.X
(22)申请日 2023.03.27
(73)专利权人 昆明冶金研究院
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