原创力文档- 2
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- 2023-07-21 发布于四川
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本实用新型公开了一种硅基晶圆的表面处理装置，包括密闭腔体和连通密闭腔体内部的第一管路以及第二管路，所述密闭腔体还连接有第三管路，所述密闭腔体内设有用于放置硅基晶圆的反应台，所述密闭腔体上设有对应所述反应台的高透光玻璃窗，所述密闭腔体的外部具有能量光源；所述第一管路连通氮气，所述第二管路连通惰性气体，所述第三管路外接真空泵，所述第一管路上设有第一控制阀，所述第二管路上设有第二控制阀，所述第三管路上设有第三控制阀；所述密闭腔体还外接有用于监测所述密闭腔体内部气压的压力计。本实用新型通过设置密闭腔体并
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214279922 U
(45)授权公告日 2021.09.24
(21)申请号 202120460640.6
(22)申请日 2021.03.03
(73)专利权人 昆山赛米瑟泊电子科技有限公司
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