原创力文档- 5
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- 2023-07-21 发布于四川
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本实用新型提供一种硅料微波加热冷淬干燥自动化生产装置，包括隧道式的微波加热系统、冷介质骤冷系统、微波干燥系统和物料输送系统，所述物料输送系统依次贯穿微波加热系统、冷介质骤冷系统、微波干燥系统，还包括抑波闸门；所述微波加热系统包括加热缓冲腔和微波加热腔；所述加热缓冲腔分别设置在微波加热腔的前后两端；所述抑波闸门配合设置在加热缓冲腔前后两端。与现有技术相比，将装有硅料的托盘限制在两道抑波闸门与加热缓冲腔、干燥缓冲腔、微波加热腔、微波干燥腔和水爆腔构成的空间内，通过设置物料升降机构和龙门式机械手，减少
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214271111 U
(45)授权公告日 2021.09.24
(21)申请号 202120368441.2
(22)申请日 2021.02.08
(73)专利权人 山东澳联新材料有限公司
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