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一种阵列基板、其制作方法及显示装置.pdfVIP

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  • 2023-07-22 发布于四川
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一种阵列基板、其制作方法及显示装置.pdf

    本发明公开了一种阵列基板、其制作方法及显示装置，包括：衬底基板，位于衬底基板上的触控晶体管和显示晶体管；其中，触控晶体管，包括：层叠设置的第一有源层、第一栅绝缘层和第一栅极；显示晶体管，包括：层叠设置的第二有源层、第二栅绝缘层和第二栅极；第一栅绝缘层的厚度大于第二栅绝缘层的厚度。通过沉积一层较厚的栅绝缘层，再通过半曝光工艺对触控晶体管所在区域的栅绝缘层进行一次刻蚀形成较厚的第一栅绝缘层，并对显示晶体管所在区域的栅绝缘层进行二次刻蚀形成减薄的第二栅绝缘层，有效改善了因栅绝缘层缺失导致的亮点和暗点不

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111312726 A (43)申请公布日 2020.06.19 (21)申请号 20201

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